Topographie & Rauheit

System: S neox / Sensofar

Berührungslose 3D-Oberflächenmessung, wahlweise mittels Konfokalmikroskopie, Interferometrie (weisslicht- und Phasenverschiebungsinterferometrie) oder Fokusvariation. Dank einer grossen Auswahl von Objektiven finden wir somit für jede Fragestellung die geeignete Methode.

Nützliche Hinweise:

Geeignete Proben:
  • Festkörper, Folien etc.
Probenvorgaben:
  • Dank einer 1 m langen Säule für den Messkopf können auch grössere Proben untersucht werden.
Messbereich/Optionen:
  • z-Auflösung: ab 2 nm bei Konfokalmikroskopie, 1 nm bei Weisslichtinterferometrie und sub-nm bei Phasenverschiebungsinterferometrie
  • xy-Auflösung: ab 0.15 µm (100X Objektiv)
  • Messbereich: Durch Stitching (Aneinanderfügen von mehreren Messbereichen) kann der Messbereich fast beliebig ausgeweitet werden, letztlich limitiert durch die Messzeit und den Verfahrensweg des Tisches (114 x 75 mm)
  • Flächenrauheit: Bestimmen aller möglichen Flächenrauheitsparameter dank professioneller Auswertesoftware.
  • Rauheit von Profilen: Von den Topographien kann eine Schar von Profilen extrahiert werden und anhand dieser Profile können alle möglichen Rauheitswerte bestimmt werden, nicht nur Ra…
  • Formen: Anhand der Topographie können wir beispielsweise Stufenhöhen, Kantenverrundungen oder die Ebenheit von kleinen Bereichen bestimmen.

Anwendung(en)

  • Rauheitsmessung in der Qualitätssicherung
  • Vergleich von verschiedenen Oberflächenbearbeitungsprozessen
  • Topographie von Beschichtungen
  • Kantenverrundung von Schneidewerkzeugen oder von elektropolierten Bauteilen
  • Formveränderungen von geätzten Wafern
  • Ihre spezifische Fragestellung

Normenbezug

  • ISO 25178-2:2012             Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters
  • ISO 25178-3:2012             Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 3: Specification operators
  • ISO 21920-1:2021             Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile — Part 1: Indication of surface texture
  • ISO 21920-2:2021             Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile — Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters
  • ISO 21920-3:2021             Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile — Part 3: Specification operators

Zurückgezogene Normen:

  • ISO 4287, ISO 4288

Ansprechpartner:  Roman Heuberger +41 32 644-2022

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